| 摘要 |
<p>본 발명은 CZTS계 박막 태양전지의 제조방법에 관한 것으로, 상세하게는 기판에 배면전극층을 형성하는 단계(단계 1);상기 배면전극층 상에 CZTS계 광흡수층을 형성하는 단계(단계 2);상기 CZTS계 광흡수층 상에 버퍼층을 형성하는 단계(단계 3);상기 버퍼층 상에 윈도우층을 형성하는 단계(단계 4); 및 상기 윈도우층을 열처리하는 단계(단계 5);를 포함하는 CZTS계 박막 태양전지의 제조방법, 기판에 배면전극층을 형성하는 단계(단계 1);상기 배면전극층 상에 CZTS계 광흡수층을 형성하는 단계(단계 2);상기 CZTS계 광흡수층 상에 버퍼층을 형성하는 단계(단계 3);상기 버퍼층을 열처리하는 단계(단계 4);상기 버퍼층 상에 윈도우층을 형성하는 단계(단계 5); 및 상기 윈도우층을 열처리하는 단계(단계 6);를 포함하는 CZTS계 박막 태양전지의 제조방법 및 기판에 배면전극층을 형성하는 단계(단계 1); 상기 배면전극층 상에 CZTS계 광흡수층을 형성하는 단계(단계 2); 상기 CZTS계 광흡수층 상에 버퍼층을 형성하는 단계(단계 3); 및 상기 버퍼층을 열처리하는 단계(단계 4);를 포함하는 CZTS계 박막 태양전지의 제조방법을 제공한다. 본 발명은, 버퍼층 또는 윈도우층 형성 후 열처리를 수행하거나, 버퍼층 형성 후 열처리 및 윈도우층 형성 후 열처리를 수행함으로써 계면 간의 결함을 최소화할 수 있으며, 이를 통해 태양전지의 광전변환효율을 높일 수 있는 효과가 있다.</p> |
