| 摘要 |
<p>반송 시스템은, 배치된 웨이퍼(W)를 위쪽에서 척 유닛(153)에 의해서 유지하는 동시에, 아래쪽에서 상하 이동 핀(140)에 의해서 흡착 유지한다. 그 후, 웨이퍼의 하면이 웨이퍼 테이블(WTB)에 접촉할 때까지 척 유닛(153) 및 상하 이동 핀(140)을 하강시킨다. 그 때, 척 유닛(153)과 상하 이동 핀(140)에 의한 웨이퍼(W)의 구속에 의해서, 웨이퍼(W)에 국소적으로 과구속이 발생하여 왜곡이 생기지 않도록, 척 유닛(153)에 의한 유지력 및 척 부재(124)의 배치를 최적이 되도록 조정한다.</p> |
