| 摘要 |
<p>본 발명에 따른 원자층 증착장치는 가스공급유로가 내부에 형성되는 가스공급관, 상기 가스공급유로와 연통되는 압력완화부가 내부에 형성되는 가스배기관 및 가스흡기유로가 내부에 형성되도록 상기 가스배기관의 외주면의 적어도 일부를 둘러싸는 가스흡기관을 구비한 가스흡배기유닛; 및 상기 가스배기관의 전체 길이에 걸쳐 상기 가스배기관에서 배기되는 가스의 분사압이 균일하도록 상기 가스공급유로 또는 상기 압력완화부에 연결되어 가스를 공급하는 가스분사압조절유닛;을 포함하여, 가스가 균일한 압력 또는 균일한 양으로 분사되도록 제어할 수 있다.</p> |
