走査ミラーおよび走査型画像表示装置

摘要

走査ミラーは、レーザ光を反射するミラー部と、ミラー部を回動振動させる支持構造と、ミラー部の振動状態を示すモニタ信号を出力する振動センサとを備える。光センサはレーザ光の強度を検出する。モニタ信号の値が所定の正常動作範囲を逸脱してかつ光センサが検出した強度の値が下がらない場合に、支持構造の破壊限界角以上に支持構造を振動させる破断信号が入力されるように構成されている。この走査ミラーやこれを用いた画像投射装置は、安全でかつ十分な明るさで画像を表示できる。