| 摘要 |
<p>평면형상의 수평 스테이지부(31)의 상면에 리프터 핀(361)을 돌출시켜 외부로부터 반입되는 워크 WK를 수취한다. 리프터 핀(361)은, 기판 SB와 블랭킷 BL이 패턴을 통하여 밀착된 워크 WK 중, 기판 SB와 블랭킷 BL이 겹치고, 또한 유효한 패턴이 형성된 유효 영역 AR보다 외측의 접촉 가능 영역 TR에 있어서 블랭킷 BL의 하면에 맞닿는다. 기판 SB와 블랭킷 BL이 겹쳐진 영역을 지지함으로써 워크 WK의 휨을 억제하고, 또 유효 영역 AR 내의 패턴에 응력이 집중하는 것이 방지된다.</p> |
