发明名称 RECIPE REPORT CARD FRAMEWORK AND METHODS THEREOF
摘要 <p>레시피 평가를 수행하기 위한 컴퓨터 구현 방법이 제공된다. 컴퓨터 구현 방법은 단일의 레시피 레포트 카드 프레임워크 내로 복수의 데이터 소스들을 통합하는 단계를 포함한다. 레시피 레포트 카드 프레임워크는 복수의 데이터 소스들과 상호작용하는 편집기를 포함한다. 컴퓨터 구현 방법은 또한, 복수의 그래픽 디스플레이를 표시하는 단계를 포함한다. 복수의 그래픽 디스플레이들 중 각각의 그래픽 디스플레이는 적어도 기판에 대한 신호 파라미터들의 세트 중 하나의 신호 파라미터를 나타내도록 구성된다. 컴퓨터 구현 방법은 신호 파라미터들의 세트 중 각 신호 파라미터에 대해 복수의 기준을 제공하는 단계를 더 포함한다. 컴퓨터 구현 방법은 또한, 신호 파라미터들의 세트 중 각 신호 파라미터에 대해 복수의 범위들을 제공하는 단계를 포함한다. 컴퓨터 구현 방법은 또한, 레시피를 분석하는데 있어서 안내를 제공하도록 구성되는 전문 가이드를 제공하는 단계를 포함한다.</p>
申请公布号 KR101541199(B1) 申请公布日期 2015.08.03
申请号 KR20097020290 申请日期 2008.03.26
申请人 发明人
分类号 G06F19/00;G06Q50/10;H01L21/3065 主分类号 G06F19/00
代理机构 代理人
主权项
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