Method for generating noncoil-like inductance for microelectronic circuits

摘要

Sposób wytwarzania bezuzwojeniowej indukcyjności do układów scalonych, na płytce (3) podłożowej z krzemu, poddanej wcześniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym do wykonania układu mikroelektronicznego polega na tym, że wykonuje się naniesienie rozpylaniem jonowym (6) warstwy (1) materiału o składzie (FeCoZr)45,7(CaF2)54,3 w atmosferze argonu w zakresie ciśnień od 10-2 Pa do 10-1 Pa.