| 摘要 |
プラズマ生成部に供給されるプラズマガスの流量はフローコントローラなどの流量制御機構により調節される。キャピラリの先端から噴出される試料ガスの流量は、フローコントローラなどの流量制御機構により調節されるキャリアガス流量によって決まる。流量制御機構は制御部により制御されている。制御部は流量制御機構を制御するためのガス流量設定手段を備えている。ガス流量設定手段は流量設定条件保持部に保持されている流量設定条件に基づき測定試料によって決定されるキャリアガス流量に応じてプラズマガス流量を設定するように構成されている。 |
