发明名称 荷電粒子線装置、試料観察システムおよび操作プログラム
摘要 <p>初心者に対する荷電粒子線装置のスキル向上を図るため、電子顕微鏡の操作項目が表示されている操作画面(200)を表示する画像表示装置と、電子顕微鏡の検出器から取得される画像(C51)の状態に関する情報を表示しているアシストボタン(B122)に関する情報を、画像(C51)の像質に対応させるとともに、電子顕微鏡のパラメータ設定値の組み合わせである観察条件に対応させて格納している記憶装置と、検出器から取得した画像の像質を解析し、解析結果としての画像の像質および現在の観察条件を基に、アシストボタン(B122)を記憶装置から取得し、当該取得したアシストボタン(B122)を、操作画面(200)の所定箇所に表示する操作プログラムと、を有することを特徴とする。</p>
申请公布号 JPWO2013137465(A1) 申请公布日期 2015.08.03
申请号 JP20140505042 申请日期 2013.03.15
申请人 发明人
分类号 H01J37/22;H01J37/28 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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