FLUIDIZED BED ALD APPRATUS FOR NANO-COATED PARTICLE

摘要

나노코팅 입자 제조를 위한 유동층 원자층 증착 장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 유동층 원자층 증착 장치는 피코팅 입자가 내부에 투입되는 유동층 반응기; 유동층 반응기의 내부로 피코팅 입자를 코팅하기 위한 반응 기체들을 공급하는 반응물 공급부; 및 반응 기체들이 경유 가능하도록 유동층 반응기에 결합되는 것으로, 반응 기체들에 규칙적인 진동을 부여하여 유동층 반응기 내부에 난기류를 형성시키는 진동 펌프를 포함한다.