| 摘要 |
Przedmiotem wynalazku jest mikromechaniczny próżniomierz jonizacyjny, stosowany zwłaszcza do oceny poziomu próżni wewnątrz obudowy próżniowej, w szczególności obudowy mikromechanicznej lub w próżni kosmicznej. Próżniomierz składa się z połączonych kolejno ze sobą i tworzących jednocześnie obudowę próżniomierza współosiowych warstw: pierwszej katody (1), dystansownika dolnego (2), anody (3), dystansownika górnego (4) oraz drugiej katody (5), przy czym pierwsza i druga katoda (1, 5) są ze sobą połączone elektrycznie, ponadto w dystansowniku dolnym (2) i dystansowniku górnym (4) wykonane są współśrodkowe otwory przelotowe, odpowiednio otwór dolny (6) i otwór górny (7), a w anodzie (3) wykonana jest matryca otworów (8) o osiach symetrii równoległych do osi otworów, dolnego (6) i górnego (7), ponadto przynajmniej w jednym dystansowniku (7) wykonany jest przynajmniej jeden kanał (9), łączący komorę roboczą próżniomierza z atmosferą zewnętrzną. Obudowa czujnika jest umieszczona w jednorodnym polu magnetycznym o liniach równoległych do osi obudowy, natomiast do anody (3) przykładany jest potencjał od 200 V do 4 kV względem obu katod (1, 5). |
