電子増幅用細孔ガラスプレートおよび検出器

摘要

ガス中での電子雪崩増幅を利用して電離電子についての測定を行う検出器（１）に用いられ、板状部材（１１）に二次元配列された複数の貫通孔（１４）が設けられてなる電子増幅用細孔ガラスプレートにおいて、該ガラスプレートの薄板化及び前記貫通孔（１４）の微細化を実現するために、前記板状部材（１１）を、感光性ガラスを結晶化して得られる感光性結晶化ガラスによって形成する。