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经营范围
发明名称
ダイ供給装置
摘要
ダイシングシート(34)上のダイ(31)のうち、カメラ(42)で撮像するダイ(31)(以下「撮像ダイ」という)を例えば1個おき(又は複数個おき)に間欠的に設定し、撮像ダイについては画像処理により該撮像ダイの位置を認識して該撮像ダイの突き上げ動作及び吸着動作を実行し、カメラ(42)で撮像しないダイ(31)(以下「非撮像ダイ」という)については、隣接する前回撮像済みの撮像ダイの認識位置を基準にして該非撮像ダイの位置を推定して該非撮像ダイの突き上げ動作及び吸着動作を実行する。
申请公布号
JPWO2013145114(A1)
申请公布日期
2015.08.03
申请号
JP20140507084
申请日期
2012.03.27
申请人
富士機械製造株式会社
发明人
保坂 英希;岩瀬 友則;小見山 延久;柘植 邦明
分类号
H01L21/67;H01L21/301
主分类号
H01L21/67
代理机构
代理人
主权项
地址
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