| 摘要 |
本発明の目的は、酸化インジウム系被膜と金属系被膜からなる積層膜の一括エッチングする際に、酸化インジウム系被膜と金属系被膜との間に大きな段差が発生することなく、酸化インジウム系被膜と金属系被膜からなる細線の細り幅が少なく、また、直線性良くエッチングすることができるエッチング液組成物及びエッチング方法を提供することにある。本発明のエッチング液組成物は、第二鉄イオン成分；塩化水素成分；及び下記一般式（１）で表される化合物及び炭素数１〜４の直鎖または分岐状アルコールからなる群から選ばれる少なくとも１種以上の化合物成分を含むことを特徴とする：【化１】（式中、Ｒ1、Ｒ3は各々独立に水素または炭素数１〜４の直鎖若しくは分岐状アルキル基を表し、Ｒ2は炭素数１〜４の直鎖若しくは分岐状アルキル基を表し、ｎは１〜３の数を表す。） |
