发明名称 涡电流厚度测量装置
摘要
申请公布号 TWI494539 申请公布日期 2015.08.01
申请号 TW100125448 申请日期 2011.07.19
申请人 瓦里安半导体设备公司 发明人 罗森 盖瑞J;辛克莱 法兰克;苏考夫 亚历山大;贝福 詹姆士S
分类号 G01B7/06 主分类号 G01B7/06
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项 一种薄板形成装置,包括:一种材质的熔融物;所述材质的薄板,位于所述熔融物中;冷却板,其经配置以形成所述薄板;激发线圈和感测线圈,其配置在所述冷却板的下游,以形成一涡电流量测系统;电源,其连接至所述激发线圈;以及控制器,连接至该涡电流量测系统,该控制器编制程序来执行指示以在所述薄板较所要厚度更厚时增加所述冷却板的温度,以及在所述薄板较所要厚度更薄时降低所述冷却板的温度。
地址 美国