光导波路之制造方法;MANUFACTURING METHOD FOR OPTICAL WAVEGUIDE

摘要

本发明提供一种讯号损失特性极小、可表面高密度安装与高速动作、且可达成高生产性之构成光路转换零件之光导波路之制造方法。;本发明有关一种光导波路之制造方法及以该制造方法获得之光导波路，该制造方法系制造自支撑体之表面向对该表面不垂直之斜向方向传播光之光导波路之方法，该方法包含下列步骤：(1)于该支撑体上具备抗反射膜之步骤，(2)于前述抗反射膜上配置感光性树脂组成物，透过光罩以自对前述支撑体表面非垂直之方向入射之光线使该感光性树脂组成物曝光并硬化之步骤，及(3)藉显像去除未曝光之感光性树脂组成物之步骤。