用以沉积防反射涂层于基材上的方法

主权项

一种用以沉积一防反射涂层于一基材上的方法，其包括下列步骤：提供一具有多个太阳电池结构的基材；将该基材布置于一真空腔室内，该真空腔室具有一含矽固体，其中，该固体与接地电位之间可施加一电压；在该固体与该接地电位之间断开电压期间，将一含氮反应气体在该真空腔室内的一流量调节至一第一值；将该含氮反应气体之流量提高至一第二值；在该固体与接地电位间施加一电压；以及以该含氮反应气体高于该第一值之流量将一由矽及氮构成之涂层沉积于该基材上。