| 发明名称 |
盐及包含该盐的光阻组成物;SALT AND PHOTORESIST COMPOSITION COMPRISING THE SAME |
| 摘要 |
一种下式(I)所示之盐：式中Q 1 与Q 2 各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基；L b1 表示C1-C24二价饱和烃基等；R 1 、R 2 、R 3 与R 4 于每次出现时独立地表示C1-C12脂族烃基等；及A + 表示有机抗衡离子。; L b1 represents a C1-C24 divalent saturated hydrocarbon group or the like; R 1 , R 2 , R 3 and R 4 independently in each occurrence represent a C1-C12 aliphatic hydrocarbon group, or the like; and A + represents an organic counter ion. |
| 申请公布号 |
TW201529542 |
申请公布日期 |
2015.08.01 |
| 申请号 |
TW103143221 |
申请日期 |
2014.12.11 |
| 申请人 |
住友化学股份有限公司 SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED |
发明人 |
増山达郎 MASUYAMA, TATSURO;市川幸司 ICHIKAWA, KOJI;荒木香 ARAKI, KAORU |
| 分类号 |
C07C309/07(2006.01);G03F7/004(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
C07C309/07(2006.01) |
| 代理机构 |
|
代理人 |
洪武雄陈昭诚 |
| 主权项 |
|
| 地址 |
日本 JP |
