脆性材料基板之刻划装置

摘要

本发明提供一种能够不产生母基板之垂落或高低起伏地以上下之刀轮精度佳地进行刻划的刻划装置。;该刻划装置具备有：前部输送带1a及后部输送带1b，系在同一水平面上隔有既定之间隙P且串联地配置，以载置成为加工对象之脆性材料基板M并进行搬送；上部刀轮2a及下部刀轮2b，系配置于该等前部输送带1a与后部输送带1b之间隙P；以及上部空气喷出构件8a及下部空气喷出构件8b，系配置于间隙P内、上部刀轮2a及下部刀轮2b之各个的侧旁部分，以朝向脆性材料基板M之上下两面喷出空气。