研磨装置;POLISHING APPARATUS

摘要

提供一种可稳定控制上方环形转盘之压力室中压力的研磨装置。本发明研磨装置具备：可旋转之研磨台2，其系用于支撑研磨垫；可旋转之上方环形转盘5，其系具有用于将基板按压于研磨垫1之压力室10；压力调整阀15，其系控制压力室10中之气体压力；及缓冲槽40，其系设于压力室10与压力调整阀15之间。压力调整阀15具备：压力控制阀门16；压力计17，其系测定该压力控制阀门16下游侧之气体压力；及阀门控制部25，其系以压力室10中之压力目标值与藉由该压力计所测定的压力值之差为最小的方式控制压力控制阀门16之动作。