发明名称 硏磨装置及硏磨方法;POLISHING APPARATUS AND POLISHING METHOD
摘要 本发明的课题为提供一种可研磨具有种种形状的被研磨加工物的研磨装置及研磨方法。;研磨装置具备:马达移动机构(33),使被研磨加工物(K)在研磨构件(10)径向的外围面的切线方向移动,并在与研磨构件(10)的转轴正交的方向移动被研磨加工物(K),及第2马达(30),旋转被研磨加工物(K)。
申请公布号 TW201529224 申请公布日期 2015.08.01
申请号 TW103134429 申请日期 2014.10.02
申请人 福吉米股份有限公司 FUJIMI INCORPORATED 发明人 森永均 MORINAGA, HITOSHI;浅野宏 ASANO, HIROSHI;大月伸悟 OTSUKI, SHINGO;玉井一诚 TAMAI, KAZUSEI
分类号 B24B19/08(2006.01);B24B9/00(2006.01) 主分类号 B24B19/08(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本 JP
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