发明名称 光阻剥离液
摘要
申请公布号 TWI494713 申请公布日期 2015.08.01
申请号 TW103128915 申请日期 2014.07.09
申请人 松下电器产业股份有限公司 发明人 渊上真一郎;铃木靖纪;有冨礼子;児玉明里;五十岚轨雄;坂田俊彦
分类号 G03F7/42 主分类号 G03F7/42
代理机构 代理人 洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项 一种光阻剥离液,包含三级烷醇胺、极性溶剂、水、二级胺、及糖醇,该二级胺为N-甲基乙醇胺,含有1.4~5质量%,该三级烷醇胺为2~9质量%。
地址 日本
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