偏光变换元件、光学照明装置、曝光装置以及曝光方法

主权项

一种偏光变换元件，配置在光的光路，将所述光的偏光状态进行变换，所述偏光变换元件的特征在于：利用有旋光性的光学材料所形成，且相关于回绕所定轴的周方向，所述光学材料具有厚度分布，所述所定轴平行于所述光学材料的结晶光学轴。