含有锌与锡之氧化物的蚀刻液及蚀刻方法

摘要

本发明提供一种蚀刻液，于含有锌与锡之氧化物之蚀刻有理想的蚀刻速率，且对于该氧化物之溶解，蚀刻速率之变化小，无析出物产生，且向配线材料之腐蚀性为能忽视的程度地小，图案形状之直线性优异。本发明中，使用含有(A) 选自于由硫酸、硝酸、盐酸、甲磺酸、过氯酸、或该等之盐构成之群组中之1种以上，及(B)草酸或其盐、与水，且pH値为-1~1之蚀刻液。 无