发明名称 固态摄像装置及照相机
摘要
申请公布号 TWI495095 申请公布日期 2015.08.01
申请号 TW101129537 申请日期 2012.08.15
申请人 东芝股份有限公司 发明人 前田基宏
分类号 H01L27/146 主分类号 H01L27/146
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种固态摄像装置,其特征为:具备:单位格形成区域,系设于半导体基板之画素阵列内;画素,系设于上述单位格形成区域内,用于产生和来自被摄体之光信号对应之信号电荷;放大电晶体,系设于上述单位格形成区域内,其针对由上述画素被传送至浮置扩散部的对应于上述信号电荷的电位加以放大;及传送闸极,被设于上述画素与上述浮置扩散部之间,用于控制来自上述画素的上述信号电荷对上述浮置扩散部之传送;上述放大电晶体之闸极电极,系包含于上述半导体基板之1以上之第1沟内隔着第1闸极绝缘膜被填埋的1以上之第1埋入部;上述传送闸极,系包含于上述半导体基板之1以上之第2沟内隔着第2闸极绝缘膜被填埋的1以上之第2埋入部;于上述半导体基板之表面之垂直方向,上述浮置扩散部侧的上述第2埋入部之底部之位置,系设于上述画素侧中上述第2埋入部之底部之位置与上述半导体基板之表面之间之位置。
地址 日本