| 主权项 |
一种上胶装置，适用于一晶圆研磨固定环，该晶圆研磨固定环包含一环形基座与一胶环，该环形基座之周缘具有一环状沟槽，该胶环套设于该环状沟槽，该上胶装置包含： 一座体，顶面设置有一第一轨道； 一支撑座，包含一板体与一连接部，该板体直立于该第一轨道，该连接部分别连接于该板体与该第一轨道，使该板体可于该第一轨道沿一第一方向滑动； 一马达，设置于该板体上，该马达之转轴穿过该板体； 一转盘，设置于该板体上且枢接于该马达之转轴，该转盘包含一固定部，用以固定该晶圆研磨固定环之环形基座于其表面； 一门型支架，包含一第一支柱、一第二支柱与一横梁，该第一支柱与该第二支柱分别直立于该座体之二侧，该横梁之二端分别连接于该第一支柱与该第二支柱，该横梁设置有一第二轨道，该第二轨道位于该第一轨道上方；及 一注胶器，连接于该第二轨道而可于该第二轨道沿一第二方向滑动，该第二方向垂直于该第一方向。 |
