真空镀膜设备

主权项

一种真空镀膜设备，适用于在一基板上镀膜，并包含：一真空腔体，包括一界定出一腔室的腔壁，该腔室包括二相邻且未受隔开而相连通的镀膜空间，该等镀膜空间皆可供该基板进行镀膜制程；及一抽气帮浦，连接该真空腔体，用于对该等镀膜空间抽真空，该抽气帮浦具有一位于该等镀膜空间之间的抽气口，该抽气帮浦可在一第一抽气模式与一第二抽气模式间切换，该第一抽气模式的抽气效率大于该第二抽气模式的抽气效率，所述抽气效率是指单位时间所抽走的气体体积。