用于将储存在液体储存容器中的液体供应至基板的材料管理系统及方法;MATERIAL MANAGEMENT SYSTEM AND METHOD FOR SUPPLYING LIQUID STORED IN LIQUID STORAGE VESSELS TO SUBSTRATE

摘要

本发明之材料管理系统及方法包含具资讯(即如电子资讯)储存装置的材料储存容器。可将资讯自一储存装置传送至一处理工具控制器，并用以设定或调整一处理工具操作参数。可藉由远端分析以决定材料资讯，并后续地传送至一含有此材料之容器的电子资讯储存装置。可藉由进一步传送材料特定资讯以自动地追踪材料储存容器在一客户设施之内的位置与移动。可将产品资讯与经运用于产品制造中之材料特定资讯关联地储存。