基板处理装置及基板处理方法

主权项

一种基板处理装置，其包括：槽本体，其以一面使邻接之基板之主表面对向，一面以立起姿势排列之状态，收容自上部之搬入口搬入之复数个基板；盖部，其开闭上述槽本体之上述搬入口；复数个处理液喷嘴，其向上述槽本体内之上述复数个基板喷出处理液；及至少1个气体喷嘴，其藉由向上述盖部之下表面喷出气体，而去除附着于上述盖部之上述下表面之处理液。