积体电路、半导体制程感测器、监测半导体器件之方法及表徵半导体制程之方法;INTEGRATED CIRCUITS, SEMICONDUCTOR PROCESSOR SENSORS, AND METHODS FOR MONITORING A SEMICONDUCTOR DEVICE AND CHARACTERIZING A SEMICONDUCTOR PROCESS

摘要

本发明揭示一种积体电路，其包括一制程感测器、一温度感测器及一电压感测器。该制程感测器经组态以感测指示形成该积体电路之一半导体制程之一制程参数，且基于该所感测之制程参数将该半导体制程之一表徵提供至该制程感测器之输出。该温度感测器经组态以将该积体电路之一温度之一指示提供至该温度感测器之一输出，且该电压感测器经组态以将该积体电路之一电源电压位准之一指示提供至该电压感测器之一输出。该制程感测器之该输出耦合至该温度感测器及该电压感测器中之至少一者，以补偿该温度之该指示及该电源电压位准之该指示中之至少一者。