研磨方法及研磨装置;POLISHING METHOD AND POLISHING APPARATUS

摘要

提供一种防止在研磨垫上排出粗大粒子同时研磨基板之研磨方法。本发明之研磨方法系向研磨垫1上供给通过过滤器14之研磨液，同时使基板W与研磨垫1滑动接触来研磨该基板W，其中使研磨液之流量及压力中任何一方的研磨液之物理量增加至到达指定的设定值，同时使研磨液通过过滤器14，向研磨垫1上供给通过过滤器14之研磨液，同时在研磨垫1上研磨基板W。