气体注射器粒子去除程序及设备;GAS INJECTOR PARTICLE REMOVAL PROCESS AND APPARATUS

摘要

一音波洁净设备，具有一元件固定治具、一音波池及一清洁液流通系统。该音波池包含一音场转换器，并于结构上设计供放置一元件固定治具，该元件固定治具和音场转换器在音波池内进行音波交互作用。该元件固定治具包含第一端板、第二端板、第一元件固定构件、第二元件固定构件，以及复数个压缩螺栓。该第一元件固定构件自第一端板突出，并于结构上设置为可在缩入位置及伸长位置反复变换。该第二元件固定构件自该第二端板突出。该元件固定治具之该等压缩螺栓自第一端板横跨至第二端板并互相间隔，在该等压缩螺栓间形成复数个音波穿透通道。该等音波穿透通道整体使设置在该元件固定治具内之元件的大部分，和音波池的音场转换器产生实质上无阻碍的音场交互作用。该清洁液流通系统包含一清洁液、一清洁液供给贮存器，一去离子水供给源、一压缩乾燥气体供给源，流体连接于该元件固定治具。