用于微机电系统电接触点之机械隔离

主权项

一种MEMS基板，其包括：一中心平坦部，其经组态以支撑一MEMS装置；一第一电垫，其与该中心平坦部共面，该第一电垫系经由一第一挠曲件连接至该中心平坦部，其中该第一挠曲件经组态以使该第一电垫与该中心平坦部实质上机械地隔离；及一第二电垫，其与该中心平坦部共面，该第二电垫与该第一电垫系机械地分离，除非经由一第二挠曲件连接而将该第二电垫连接至该中心平坦部，且该第二挠曲件经组态以使该第二电垫与该中心平坦部实质上机械地隔离。