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发明名称 光阻剥离组合物及用于制备电子装置之方法
摘要
申请公布号 TWI494711 申请公布日期 2015.08.01
申请号 TW099114542 申请日期 2010.05.06
申请人 巴地斯颜料化工厂 发明人 克里普　安德利亚
分类号 G03F7/42;C11D7/32;C11D7/50;H01L21/027 主分类号 G03F7/42
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种液体组合物，其包含：(A)至少一种极性有机溶剂，其选自由符合以下条件之溶剂组成之群：在0.06重量%至4重量%溶解氢氧化四甲基铵(B)存在下，在50℃下对含有深UV吸收发色基团之30nm厚聚合物障壁抗反射层展示恒定移除速率，该重量百分比系以相应测试溶液(AB)之整体重量计，(B)至少一种氢氧化四级铵，及(C)至少一种含有至少一个一级胺基之芳香族胺；其中该芳香族胺意指胺基为仅存在的反应性官能团，而无其他存在的反应性官能团。
地址 德国
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