太阳能电池制造技术

主权项

一种太阳能电池制造方法，所述方法包括：将所述太阳能电池配置在离子源的下游；将光罩配置在所述离子源与所述太阳能电池之间，所述光罩包括前表面、后表面以及至少一个孔径依该孔径方向从所述前表面延伸到所述后表面；以及将离子从所述离子源沿着离子束路径，且经由所述光罩的所述至少一个孔径导向所述太阳能电池，其中所述离子束路径不平行于所述孔径方向且实质上垂直于所述太阳能电池。