图案测定方法、带电粒子束装置之装置条件设定方法、以及带电粒子束装置

主权项

一种图案测定方法，基于对于样品以带电粒子束作扫描从而得到之带电粒子的检测，而执行形成于样品上之图案的尺寸测定，特征在于：基于在将带电粒子照射于使用于自组装光刻技术中之高分子化合物而将形成该高分子化合物之复数的聚合物之中的特定聚合物相对于其他聚合物予以大幅收缩之后或与收缩同时在包含该其他聚合物之区域藉带电粒子束之扫描而得之信号，而进行前述其他聚合物之复数的边缘到边缘间之尺寸测定。