ＩＣ处理机

主权项

一种IC处理机，其系向测试IC元件之测试头搬送上述IC元件者，且上述测试头包括插座，该插座系具有载置上述IC元件之载置面且将载置于上述载置面之上述IC元件安装于上述测试头；上述IC处理机包括机械臂及非接触位移计，该机械臂系执行对于上述插座之上述IC元件之装填排出步骤，该非接触位移计系于与上述载置面垂直之方向上远离上述插座而配置；上述非接触位移计系藉由朝向上述载置面发射光束而测定自上述非接触位移计至载置于上述载置面之上述IC元件之距离；还包括移动机构，其系使上述非接触位移计移动至上述非接触位移计不与执行上述装填排出步骤中之上述机械臂发生干涉之储存位置。