| 发明名称 |
用以在处理腔室内支撑、定位及旋转基板的设备与方法 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI495036 |
申请公布日期 |
2015.08.01 |
| 申请号 |
TW102101812 |
申请日期 |
2009.01.17 |
| 申请人 |
应用材料股份有限公司 |
发明人 |
柯莫布莱克;雷奈亚历山大Ｎ;拉尼西乔瑟夫Ｍ;山见凯德南;索拉基库谢 |
| 分类号 |
H01L21/683;H01L21/68;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼 |
| 主权项 |
一种用于一基板之基板支撑组件，包括：一基底，该基底设以提供一第一气体流好提高该基板；及复数个围绕该基底配置的空气轴承边缘辊与配置于该基底中的空气摩擦气穴，且其中各个空气轴承边缘辊包括一适以浮在一第二气体流上的套管。 |
| 地址 |
美国 |
