| 主权项 |
一种光阻下层膜形成用组成物，其系含有(A)含羟基之树脂、(B)具有丁醚基之交联剂及(C)溶剂，其特征为前述(A)树脂系由具有下述式(3)或(6)中任一项之构造单位之聚合物所构成者，式(3)之-OR3或式(6)之-R10之至少一方为羟基，前述(B)交联剂系具有至少2个丁醚基且具有三嗪骨架之含氮环状化合物；[R3系表示氢原子或1价之有机基，R4、R5系互相独立，表示1价之原子或1价之有机基]，[式中，R10系表示羟基、可具有碳数1~6之取代基之烷基、可具有碳数1~6之取代基之烷氧基、可具有碳数2~10之取代基之烷氧羰基、可具有碳数6~14之取代基之芳香基、或可具有碳数2~6之取代基之缩水甘油醚基，n系0~6之整数，但，n在2~6时，复数之R10系相同或相异皆可，X系表示可具有碳数2~20之取代基之伸烷基、可具有碳数6~14之取代基之伸芳香基、或伸烷醚基，m系1~8之整数，m在2~8时，复数之X系相同或相异皆可，另外，n+m系1~8之整数]。 |
