应用于探针测试装置的支撑结构及其制作方法

摘要

一种应用于探针测试装置的支撑结构及其制作方法，该支撑结构包括一基板、一薄形化之空间转换板、多个焊球与光阻支撑块。基板具有多个第一内部导电线路。空间转换板具有多个第二内部导电线路。焊球介于基板与空间转换板之间，分别电性连接第一内部导电线路与第二内部导电线路。光阻支撑块介于基板与空间转换板之间，彼此分离地排列，且是藉由微影制程所形成。至少其中一该光阻支撑块位于二相邻焊球之间。该制作方法系先提供该基板、该空间转换板、该些光阻支撑块及焊球，再利用该些焊球将该空间转换板与该基板进行回焊。