| 主权项 |
一种将独立电力提供至亦承受一组RF信号之电浆处理室之负载之方法，该组RF信号至少包含具有第一RF频率之第一RF信号，包含：提供一DC电压信号；使用一隔离变压器将该DC电压信号调变为一独立功率信号，该独立功率信号具有一高于60Hz且低于该第一RF频率之中间频率，其中该组RF信号包含多个具有不同RF频率之RF信号，该第一RF频率代表该不同RF频率中最低的RF频率，该隔离变压器具有未与次级线圈电连接之初级线圈，包含：将该DC电压信号提供至该初级线圈，及从该次级线圈获得该独立功率信号，藉以实质地阻挡该第一RF频率；及使用该独立功率信号将该独立电力传送至该负载；其中与该初级线圈缠绕该隔离变压器之一芯部之直径相比，该次级线圈系以一较大直径缠绕该芯部，以在该次级线圈与该芯部之间造成一气隙，藉以降低该次级线圈与该芯部间之电容耦合。
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