药液容器交换装置、容器载置模组及药液容器之交换方法、基板处理装置

摘要

提供一种可在洁净的环境下，进行药液容器之交换的药液容器交换装置等。又，提供一种不需经由人工，即可进行药液容器之交换的基板处理装置。在进行药液容器(50)之交换的药液容器交换装置(D2)中，在容器配置部(60)配置有装设了进行药液之供给之药液供给路径之基端侧的复数个药液容器(50)，装卸机构(61)，系对容器配置部(60)之药液容器(50)执行药液供给路径之基端侧的装卸操作。在搬入搬出埠(62)中，系进行用于对基板(W)进行液处理之新的药液容器(50)之搬入与已使用过的药液容器(50)之搬出，容器搬送机构(7)，系执行从容器配置部(60)搬送已使用过的药液容器(50)至搬入搬出埠(62)与从搬入搬出埠(62)搬送新的药液容器(50)至容器配置部(62)。又，基板处理装置(1)，系具备有：载体区块(D1)，搬入收纳了基板(W)的载体(C)；及处理区块(D3)，设置有对基板(W)进行使用药液之液处理的液处理模组。收容储存了被供给至液处理模组之药液之复数个药液容器(50)的药液块体(D2)，系设置为相对于载体区块(D1)及处理区块(D3)以一列的方式排列。在该药液块体(D2)中，在容器配置部(60)，系在与载体区块(D1)及处理区块(D3)之排列方向正交的方向，配置复数个药液容器(50)，在搬入搬出埠(69)进行药液容器(50)之搬入搬出。且，机构(7)，系在容器配置部(60)与搬入搬出埠(69)之间进行已使用过及新的药液容器(50)之自动交换。