用于实行第三方支援装备之预防维护的电脑实施方法、非暂态电脑可读取记忆体媒体、及电脑化系统

主权项

一种电脑实施之方法，该方法包含以下步骤：在一制造环境中，藉由包含一支援装备效能子系统及一处理装置之一伺服器，在复数个不同类型的第三方支援装备之操作期间，自该复数个不同类型的第三方支援装备中接收装备资料，其中该装备资料透过该复数个不同类型的第三方支援装备上之一第一埠进行接收，且该复数个不同类型的第三方支援装备透过该复数个不同类型的第三方支援装备上之一第二埠与一分别的制程工具相通讯；藉由该伺服器，自该复数个不同类型的第三方支援装备，接收包含用于接收该装备资料之一格式的配置资料，其中各个第三方支援装备的该格式与一分别的第三方制造商相关联；基于该装备资料，藉由该伺服器决定该复数个不同类型的第三方支援装备之各者的一未来状态，该复数个不同类型的第三方支援装备系由不同的第三方制造；其中该伺服器可从该制造环境移除而不会影响该制造环境的效能，且一第三方支援装备的失效会影响该制造环境中该分别的制程工具之效能；其中一制程工具制造装置且一分别的第三方支援装备支援该制程工具。