应用电子束诱发电浆探针以检测、测试、侦错及表面改质;APPLICATION OF ELECTRON-BEAM INDUCED PLASMA PROBES TO INSPECTION, TEST, DEBUG AND SURFACE MODIFICATIONS

摘要

本发明揭示一种电子束诱发电浆，其经利用以建立一非机械、电接触至一所关注器件。此电浆源可称为大气电浆源且可经组态提供具有非常精细之直径及可控特性之一电浆柱。该电浆柱横过在该电浆源与该所关注器件之间的大气空间至大气中，且以可自该器件收集一特性电信号之此一方式充当至该所关注器件之一电路径。另外，藉由控制流动至该电浆柱中之气体，探针可用于表面改质、蚀刻及沈积。