基板输送方法及基板输送机;SUBSTRATE TRANSFER METHOD AND SUBSTRATE TRANSFER DEVICE

摘要

本发明之基板输送方法系利用一对支持臂部171支持基板W的周缘部，在前述支持臂部171与前述基板W的周端部之间形成有既定之间隙的状态下，藉由移动机构使前述支持臂部171及前述基板W移动。