用于在半导体制程中之工具健康资讯监控及工具效能分析的方法、电脑可读取媒体及计算装置

主权项

一种用于在半导体制程中之工具健康资讯监控及效能分析的方法，该方法包含以下步骤：藉由一计算装置以在一工具健康回报系统之一第一使用者介面中，显示下列之至少一者：复数个制造工具、复数个半导体产品、及复数个时间周期，该等复数个时间周期系与该等复数个制造工具及该等复数个半导体产品相关；接收一使用者自一群组中就两个资料项目之选择，该群组包含与该等复数个半导体产品相异的一半导体产品、与该等复数个制造工具相异的一制造工具、及与该等复数个时间周期相异的一时间周期；藉由该计算装置，基于该等已选择的两个资料项目来决定一来自该群组之第三资料项目，其中该第三资料项目系为下列中之一未选择者：该相异半导体产品、该相异制造工具及该相异时间周期；使该相异制造工具之基于设备的测量资料与用于该相异时间周期之该相异半导体产品的产品水准测量资料相关联，以产生一报告；及在该工具健康回报系统之一第二使用者介面中显示该报告。