液体处理治具及液体处理方法

摘要

本发明之课题在于适当地进行对于被处理体之处理液之供给至排出，且适当地处理该被处理体。;模板20包括：液体处理部23，其形成于模板20之正面20a，用以藉由镀敷液而对晶圆进行镀敷处理；液体供给部21，其对液体处理部23供给镀敷液；液体排出部25，其自液体处理部23排出镀敷液；液体供给路径22，其将液体供给部21与液体处理部23连接；及液体排出路径24，其将液体处理部23与液体排出部25连接。液体供给部21、液体供给路径22、液体处理部23、液体排出路径24、液体排出部25以使镀敷液藉由其毛细管现象而流通之方式设置。