发明名称 脱泡装置
摘要
申请公布号 TWM506363 申请公布日期 2015.08.01
申请号 TW104206355 申请日期 2015.04.27
申请人 田宇科技股份有限公司 发明人 林振东
分类号 H01L21/08 主分类号 H01L21/08
代理机构 代理人 林志青 台北市信义区松隆路102号18楼之1
主权项 一种脱泡装置,包含: 复数个脱泡机构,每个该脱泡机构具有一脱泡腔体、一进料闸门、及一出料闸门,,该进料闸门以及该出料闸门系连接于该脱泡腔体,每个该脱泡机构系在一进料状态、一出料状态、以及一脱泡状态之间切换运作,其中于该进料状态时,该进料闸门开启而将一待脱泡料件供给至该脱泡腔体中,于该出料状态时,该出料闸门开启而将一经脱泡料件移送至该脱泡腔体外,以及于该脱泡状态时,该进料闸门以及该出料闸门关闭而封闭该脱泡腔体以供进行对于该待脱泡料件之脱泡; 一给料机构,包括一给料构件,该给料构件系设置为在该复数个脱泡机构的进料闸门之间对应位移,且该给料机构系经设置而对运作于该进料状态的脱泡机构将该待脱泡料件供给至该脱泡腔体中; 一出料机构,包括一出料构件,该出料构件系设置为在该复数个脱泡机构的出料闸门之间对应位移,且该出料机构经设置而对运作于该出料状态的脱泡机构将该经脱泡料件移送至该脱泡腔体外;以及 一送气机构,连接该复数个脱泡机构,该送气机构用以传输一气体至该脱泡机构内进行脱泡,且该送气机构系经设置而对运作于该脱泡状态的脱泡机构送入气体而进行脱泡, 其中,该复数个脱泡机构系经设置而在第一选定的脱泡机构运作于该进料状态的同时,该第一选定的脱泡机构以外的至少一个第二选定的脱泡机构为运作于该脱泡状态,以及该第一选定的脱泡机构以及该第二选定的脱泡机构以外的至少一个第三选定的脱泡机构为运作于该出料状态。
地址 桃园市八德区联明街9号