| 主权项 |
一种气相成长装置，其特征在于包括：反应室；喷淋板，包括：多个第1横向气体流路，配置在上述反应室的上部，且配置在第1水平面内而相互平行地延伸；多个第1纵向气体流路，连接于上述第1横向气体流路，沿纵向延伸且在上述反应室侧具有第1气体喷出孔；多个第2横向气体流路，配置在比上述第1水平面靠上方的第2水平面内，且沿与上述第1横向气体流路相同的方向相互平行地延伸；及多个第2纵向气体流路，连接于上述第2横向气体流路，通过上述第1横向气体流路之间，沿纵向延伸且在上述反应室侧具有第2气体喷出孔，上述喷淋板对上述反应室内供给气体；以及支持部，设置在上述反应室内的上述喷淋板下方，且可载置基板。 |
