发明名称 半导体基板、光电转换装置、半导体基板之制造方法,以及光电转换装置之制造方法
摘要
申请公布号 TWI495119 申请公布日期 2015.08.01
申请号 TW099118116 申请日期 2010.06.04
申请人 独立行政法人产业技术总合研究所 发明人 秦雅彦;板谷太郎
分类号 H01L31/04;H01L31/18 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人 洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼
主权项 一种半导体基板,其系具备:基底基板,系包含矽;阻碍体,系形成于前述基底基板上,具有露出前述基底基板表面的开口,以阻碍结晶成长;以及光吸收构造体,系连接于露出在前述开口内部之前述基底基板的表面,形成于前述开口的内部;其中,前述光吸收构造体系具有第1半导体、第2半导体及第3半导体,前述第1半导体系包含:第1传导型第1半导体;形成于前述第1传导型第1半导体的上方且具有与前述第1传导型第1半导体相反的传导型之第2传导型第1半导体;以及形成于前述第1传导型第1半导体与前述第2传导型第1半导体之间且有效载子浓度比前述第1传导型第1半导体与前述第2传导型第1半导体更低之低载子浓度第1半导体;前述第2半导体系包含:与前述第2传导型第1半导体晶格匹配或近似晶格匹配且具有与前述第2传导型第1半导体相反的传导型之第1传导型第2半导体;形成于前述第1传导型第2半导体的上方且具有与前述第1传导型第2半导体相反的传导型之第2传导型 第2半导体;以及形成于前述第1传导型第2半导体与前述第2传导型第2半导体之间且有效载子浓度比前述第1传导型第2半导体与前述第2传导型第2半导体更低之低载子浓度第2半导体;前述第3半导体系包含:与前述第2传导型第2半导体晶格匹配或近似晶格匹配之第1传导型第3半导体;形成于前述第1传导型第3半导体的上方且具有与前述第1传导型第3半导体相反的传导型之第2传导型第3半导体;以及形成于前述第1传导型第3半导体与前述第2传导型第3半导体之间且有效载子浓度比前述第1传导型第3半导体与前述第2传导型第3半导体更低之低载子浓度第3半导体;前述第1半导体含有具有第1禁带宽的材料,且由Cx1Siy1Gez1Sn1-x1-y1-z1(0≦x1<1,0≦y1≦1,0≦z1≦1,且0<x1+y1+z1≦1)所构成;前述第2半导体含有具有比前述第1禁带宽更大之第2禁带宽的材料,且由Alx2Iny2Ga1-x2-y2Asz2Pw1N1-z2-w1(0≦x2≦1,0≦y2≦1,且0≦x2+y2≦1;以及0≦z2≦1,0≦w1≦1,且0≦z2+w1≦1)所构成;前述第3半导体含有具有比前述第2禁带宽更大之第3禁带宽的材料,且前述第3半导体系由 Alx3Iny3Ga1-x3-y3Asz3P1-z3(0≦x3≦1,0≦y3≦1,0≦z3≦1,且0≦x3+y3≦1)所构成。
地址 日本